2025-03-04

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仪器型号：AMBER GMH生产厂家：TESCAN技术参数：（1）电子束分辨率：1.5 nm @ 1 keV(无漏磁)，1.3 nm @ 1 keV(减速模式)，0.9nm @ 15 keV(无漏磁)；（2）离子束分辨率：2.5 nm @ 30 keV；（3）EDS：能量分辨率MnK...

2025-03-04

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仪器型号：DWL66+生产厂家：Heidelberg Instruments技术参数：（1）基片尺寸：碎片(10mm×10mm)，最大曝光面积200mm方形;（2）分辨率：>0.6um;（3）套刻：最高精度0.1um(3σ）;（4）曝光光源：405nm，300mW;（5）...

2025-03-04

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仪器型号：GD-N-023生产厂家：苏州光舵微纳科技股份有限公司技术参数：（1）基片尺寸：6英寸及以下尺寸；有效压印面积：6英寸；（2）加工图形尺寸：10nm-400nm；尺寸误差：±5%；加工深宽比：1~4；（3）加热温度：...

2025-03-04

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仪器型号：EVG 610生产厂家：EV Group技术参数：（1）基片尺寸：碎片(10mm×10mm-2英寸)、4英寸、6英寸;（2）掩膜版尺寸：3英寸、5英寸、7英寸;（3）分辨率：0.8μm（真空接触）；（4）正面对准精度：±0.5μm; 背...

2025-03-04

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仪器型号：PRO line PVD75生产厂家：Kurt J Lesker company技术参数：（1）基片尺寸：6英寸；坩埚位置：6个，每个容量20cc；（2）电子枪最高烘烤温度：150℃；（3）极限真空压强：5*10-8Torr；（4）薄膜均匀性：...

2025-03-04

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仪器型号：ORION 8生产厂家：AJA INTERNATIONAL. INC技术参数：（1）基片尺寸：4英寸；加热温度：≤850℃ ±1℃；（2）电源最大功率：射频电源300W，直流电源 200W；（3）极限真空压强：5*10-8Torr；（4）薄膜均匀...

2025-03-04

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仪器型号：SI591生产厂家：SENTECH 技术参数：（1）样品尺寸为最大直径8英寸；（2）上电极为铝电极，带气体喷淋头，中央配置光学窗口、用于原位检测；（3）上电极源射频发生器：频率13.56MHz，功率≥600W；（4...

2025-03-04

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仪器型号：SI500生产厂家：SENTECH技术参数：（1）样品尺寸为最大直径8英寸；（2）上电极采用平板三螺旋天线的感应耦合等离子体源；（3）电极ICP源射频发生器：频率13.56 MHz，功率<1200W；下电极偏置射频发生器...

2025-03-04

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仪器型号：IBE-150生产厂家：北京埃德万斯技术参数：（1）配置直径Ф150mm的考夫曼离子源，有效口径不小于Ф100mm，束流 0~130 mA 连续可调，离子能量0~1000eV连续可调，能量束流自动匹配；（2）中心Ф100mm范围...

2025-03-04

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仪器型号：Q235生产厂家：ALPHA PLASMA技术参数：（1）去胶速度：光刻胶种类为AZ系列正胶时不小于0.1μm/min 去除速率；（2）支持晶圆尺寸：单片最大8英寸，兼容8英寸以下的晶圆或碎片；（3）支持批量晶圆尺寸和...