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磁控溅射仪(AJA ORION 8)

发布时间：2025-03-04    作者：    来源： yl23455永利官网    浏览次数：    打印


仪器型号：ORION 8

生产厂家：AJA INTERNATIONAL. INC

技术参数：

（1）基片尺寸：4英寸；加热温度：≤850℃ ±1℃；

（2）电源最大功率：射频电源300W，直流电源 200W；

（3）极限真空压强：5*10-8Torr；

（4）薄膜均匀性：直径100nm硅片镀制100nm以上的薄膜，均匀性可达±2.5%；

（5）薄膜重复性：同样镀膜工艺做三个样品，重复率偏差优于±3%。

主要功能及特色：

用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等薄膜材料的制备。当前有靶材（ Al, Cu, Ni, W, ITO, Al2O3, SiO2, NiO, TiO2, Ga2O3, SnO2, In2O3, ZrO2）。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3597.reserv

校内收费标准：

400元/小时；耗材按实际使用收费，可自带靶材(2英寸)。

联系人：

马老师 18692257791  




 


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