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微纳加工与器件制造平台

工艺设备校内标准价格表

序号 设备类型 设备名称 品牌型号 校内收费标准
1 基础 超净间使用 / 2000元/年（包含进入超净间洁净服、手套、帽子及使用费、紫外臭氧清洗机、甩胶机、显微镜、真空烘箱、台阶仪、通风橱等小型设备使用费）
2 器件加工 无掩膜光刻 Heidelberg DWL66+ 800元/小时(制版700元/3英寸，800元/片4英寸，1000元/片5英寸，2000元/片7英寸，5000元/片9英寸)
3 纳米压印 光舵微纳GD-N-023 200元/小时
4 紫外光刻机 EVG 610 500元/小时
5 薄膜沉积 电子束蒸发仪 Kurt J. Lesker PRO line PVD75 400元/小时；耗材按实际使用收费
6 磁控溅射仪 AJA ORION 8 400元/小时；耗材按实际使用收费，可自带靶材(2英寸)
7 干法刻蚀 反应离子刻蚀机 SENTECH SI591 300元/小时
8 感应耦合等离子刻蚀机 SENTECH SI500 600元/小时
9 离子束刻蚀机 埃德万斯 IBE-150 200元/小时
10 微波去胶机 ALPHA PLASMA Q235 50元/次
11 机电加工与表征 原位纳米机电加工系统 TESCAN AMBER GMH FIB：1000元/小时；SEM/EDS：400元/小时EBSD：600元/小时；EBSD与EDX同步收集：800元/小时；喷金：100元/次（≤110秒）；耗材按实际使用收费
12 辅助仪器 引线压焊机 尚进S450-B 50元/次
13 真空烘箱 诺巴迪NBD-6050-DZK /
14 紫外臭氧清洗机 / /
15 快速热退火机 东之星RTP500Z 50元/次
16 划片机 沈阳和研DS613 100元/次
17 甩胶机 Laurell HL-650Mz-8NPPB /
18 显微镜 ZEISS Axioscope 5 /
19 台阶仪 泽攸科技 JS10 B /
20 其他收费事项 光刻胶 /

AZ5214： 170元/30mL；

SPR220-3.0： 160元/30mL；

PR1-4000A1： 220元/30mL；

增粘剂： 230元/30mL

补充说明：

1.校外价格为校内价格的1.5倍；

2.yl23455永利官网价格：校内价格的7折；

3.自主操作价格：对应价格的7折；

4.所有优惠价格指大型设备使用费，材料费不打折；

5.不计费设备统一计算在超净间使用费中，用户须登记使用；

6.其它使用的化学品耗材均按实际价格结算；

7.预约时长最短为半小时。




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