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离子束刻蚀机(埃德万斯 IBE-150)

发布时间：2025-03-04    作者：    来源： yl23455永利官网    浏览次数：    打印


仪器型号：IBE-150

生产厂家：北京埃德万斯


技术参数：

（1）配置直径Ф150mm的考夫曼离子源，有效口径不小于Ф100mm，束流 0~130 mA 连续可调，离子能量0~1000eV连续可调，能量束流自动匹配；

（2）中心Ф100mm范围内刻蚀均匀性≤3%；

（3）最大支持4英寸圆片，兼容4英寸以下的圆片或碎片；

（4）样品台台面为钛合金材料，直径为150mm，自转速率0~20RPM，倾斜角度 0~90度可调节，自动调节，精确度±1度；

（5）气体气路：一路氩气用于刻蚀工艺，一路氮气用于阀门控制。

主要功能及特色：

利用辉光放电将氩气分解为氩离子，氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击完成刻蚀，样品台可旋转，转速可调。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3602.reserv

校内收费标准：

200元/小时。

联系人：

程老师 18692257791

 


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