仪器型号：AMBER GMH

生产厂家：TESCAN

技术参数：

（1）电子束分辨率：1.5 nm @ 1 keV(无漏磁)，1.3 nm @ 1 keV(减速模式)，0.9nm @ 15 keV(无漏磁)；

（2）离子束分辨率：2.5 nm @ 30 keV；

（3）EDS：能量分辨率MnKα优于129eV，元素分析范围Be4~Cf98；

（4）EBSD：角度分辨率：0.05°，像素分辨率622*512，能同时采集 EBSD和EDS；

（5）配备纳米操纵仪，能够进行纳米级的精确移动而且能够做到毫米级的移动范围。

主要功能及特色：

先进的聚焦离子束和电子束的双束系统，可以实现微米级的加工和纳米级的微观表征；配备EDS与EBSD，表征样品的元素成分与晶体结构；配备原位微纳米加工装置，可实现微纳米机加工与原位力学、热学、电学试验。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3594.reserv

校内收费标准：

FIB：1000元/小时；SEM/EDS：400元/小时；EBSD：600元/小时；EBSD与EDX同步收集：800元/小时；
喷金：100元/次（≤110秒）；耗材按实际使用收费。

联系人：

程老师 18692257791